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硅烷特氣系統——特氣柜設計及氣路管道要求

2020-08-27 14:52:54    責任編輯: 特氣系統專業設計     0

硅烷(SiH4)是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒性特種氣體。

硅烷在高科技行業中應用越來越廣泛,這與它的特性有關,同時也與行業的特殊需求有關。


1、硅烷(SiH4)可以通過熱分解或與其它氣體的化學反應制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質。

舉例:半導體行業中,硅烷SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一,與氨氣(NH3)結合使用,形成用于a-Si晶體管的氮化硅層;與氧化亞氮(N2O)結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。



2、硅烷(SiH4)的利用可以實現高純度、超精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應。從而將各種含硅材料制成復雜精細的結構, 滿足各種需要,這也正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

硅烷既然這么有用,那肯定不能因為它是危險性氣體就不用啊,但同樣安全第一,那該怎么辦呢?特氣系統和特氣設備!他們的出現便是為了解決這種問題而專門設計出來的。


  • 硅烷特氣柜設計要求

1、因為硅烷(SiH4)的危險性,所以整套系統應該配備惰性吹掃裝置,而且應該設置獨立的惰性氣體鋼瓶(比如高壓N2)進行吹掃,不得采用管道氮氣吹掃。


亚慱体育app2、硅烷(SiH4)與空氣會自燃,柜內應配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等,當發生泄漏時,能及時報警處理,避免更大事故的發生。


3、硅烷系統的排氣管不得接入排風系統,硅烷和硅烷混合物排氣系統應該獨立于其它氣體排氣系統。


4、如果排氣的硅烷(SiH4)濃度較高時,應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。


5、由于存在通過系統的固定慣性氣流,要設有防止回流裝置。


6、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃,吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。


  • 硅烷管道要求

1.硅烷特氣管道安裝一般首選管道系統是316或316L無縫EP級不銹鋼,其內、外表面極其光亮,且具有焊接結構,額定壓力為最大運轉壓力的1.5倍,在三倍的正常傳輸壓力到最大額定壓力之間用氦檢漏,理想的系統應該全部是焊接的。


2.潔凈管道的焊接除了要達到常規工業管道對焊縫的要求外,還要求焊接時管內、外表面不受污染,焊縫內、外表面必須與母材光亮度基本一致。


亚慱体育app3.硅烷特氣管道系統上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統上都應安裝流量控制閥或流量開關,以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個切斷閥應該盡可能接近氣源。


亚慱体育app4.在硅烷設施中,所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標簽,說明它們的用途。管道上的標簽應當說明氣流方向和氣體類型。



以上,便是硅烷特氣系統中硅烷(SiH4)的作用、特氣柜的設計和氣體管道要求,因為硅烷的危險特性,要選好特氣設備(特氣柜)和做好氣體管道安裝,這樣無論你是否使用,你都是可以放心和安全的。感謝您的閱讀!