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全自動單瓶特氣柜

特氣柜主要用要供應特種氣體,如易燃,易爆,劇毒等,主要用于半導體和LED的新興行業。根據生產的需要,有普通的Gas cabinet和BSGS等大流量的氣體供應氣柜。 本公司常年提供客戶所需的特氣柜,擁有多年的氣柜生產經驗,以及國內優秀的售后服務團隊。
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產品詳情

名稱:單瓶特氣柜(Gas Cabinet)規格:單工藝氣瓶,全自動

型號:WF-GC100

特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H1800高

■ 外吹掃:PN2,1/4"MVCR接口

■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口

■ 氣動隔膜閥:CDA驅動,1/4"卡套接口

■ VENT排空管:1/2MVCR接口

■ 工藝氣體出口:2個,1/4"MVCR接口

■ 盤面規格:1/4"盤面

■ 標準配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報警,遠程切斷,欠壓報警,主材SS316L

■ 柜體換氣量:4"排氣口,1200次/小時

■ 控制柜尺寸:W550寬×D230深×H320高

■ 控制柜電源:220VAC,50HZ,200W,漏電保護

■ 操作界面:7"彩色觸摸屏

■ 選配:工藝氣瓶重量監控器,工藝氣體超壓報警,盤面加熱及溫控裝置,報警信號手機短信與電話通知

適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。